英特尔宣布世界首台商用 High NA EUV 光刻机完成组装

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发布时间: 2024-4-19 14:48

4 月 19 日消息，英特尔今日宣布其已在位于美国俄勒冈州希尔斯伯勒的 Fab D1X 研发晶圆厂完成世界首台商用 High NA（0.55NA） EUV 光刻机的组装工作，目前已进入光学系统校准阶段。 ▲ 图源英特尔新闻稿这台光 ...

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