国产90nm的光刻机，经多重曝光后，能生产28nm芯片？

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发布时间: 2023-6-25 18:00

国产90nm的光刻机，经多重曝光后，能生产28nm芯片？众所周知，目前国产最先进的光刻机是上海微电子的SSX600系列光刻机。其中最先进的型号是SSA600/20，在分辨率这里写的是90nm。不过大家要注意的是，不管是采 ...

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