华为公布一项EUV光刻新专利

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发布时间: 2022-11-25 17:08

华为公布一项EUV光刻新专利近日，据国家知识产权局官网消息，华为技术有限公司于11月15日公布了一项于光刻技术相关的专利，专利申请号为202110524685X...业界周知，集成电路制造中，光刻覆盖了微纳图形的转移、 ...

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